راه حل BSLtech Semiconductor
توسعه تخصص شما در صنعت نیمه هادی اغلب به اتاق های تمیز یا کابینت های جریان آرام با کلاس ISO بالا (ISO 5 یا بالاتر) نیاز دارد. آیا با فرآیندهای حساس به UV سر و کار دارید؟ حتی در آن زمان BSL اتاق تمیز مناسب را فراهم می کند. اتاق های تمیز دارای پوشش دیواری با کیفیت بالا و نورپردازی با فیلتر UV هستند. با استفاده از مواد ضد الکتریسیته ساکن (ESD) و میله های ضد الکتریسیته ساکن در سیستم فیلتر، بار ساکن در هوا خنثی می شود.
هنگامی که گاز زدایی مورد نظر نیست، BSL یک اتاق تمیز از مواد بدون گاز (PU) ارائه می دهد. این فناوری از صنعت هوافضا سرچشمه می گیرد.
فرآیندهای معمول در صنعت نیمه هادی:
● محافظت از بسترها و ویفرهای سیلیکونی
● تحقیقات EUV
● تراز کننده های ماسک
● پوشش خلاء، رسوب لایه نازک
● برنامه های کاربردی چاپ
● اپتیک
فرآیندهای Front-end و Back-end