
راهکار نیمههادی BSLtech
توسعه تخصص شما در صنعت نیمههادی اغلب به اتاقهای تمیز یا کابینتهای جریان لمینار با کلاس ISO بالا (ISO 5 یا بالاتر) نیاز دارد. آیا با فرآیندهای حساس به اشعه ماوراء بنفش سر و کار دارید؟ حتی در این صورت، BSL اتاق تمیز مناسب را ارائه میدهد. اتاقهای تمیز دارای روکش دیواری با کیفیت بالا هستند و دارای نورپردازی با فیلتر UV میباشند. با استفاده از مواد ضد الکتریسیته ساکن (ESD) و میلههای ضد الکتریسیته ساکن روی سیستم فیلتر، بار ساکن موجود در هوا خنثی میشود.
وقتی گاززدایی مطلوب نباشد، BSL یک اتاق تمیز از مواد بدون گاز (PU) ارائه میدهد. این فناوری از صنعت هوافضا سرچشمه میگیرد.
فرآیندهای معمول در صنعت نیمههادی:
● محافظت از زیرلایهها و ویفرهای سیلیکونی
● تحقیقات EUV
● ترازکنندههای ماسک
● پوششدهی در خلاء، رسوبگذاری لایه نازک
● کاربردهای چاپ
● اپتیک
فرآیندهای جلویی و پشتی