طرح هوای برگشت ثانویه برای سیستم تهویه مطبوع

کارگاه میکرو الکترونیکی با فضای نسبتاً کوچک اتاق تمیز و شعاع محدود کانال هوای برگشتی برای اتخاذ طرح هوای برگشت ثانویه سیستم تهویه مطبوع استفاده می شود. این طرح معمولاً دراتاق های تمیزدر سایر صنایع مانند داروسازی و مراقبت های پزشکی. از آنجا که حجم تهویه برای برآورده کردن نیازهای رطوبت دمای اتاق تمیز به طور کلی بسیار کمتر از حجم تهویه مورد نیاز برای رسیدن به سطح تمیزی است، بنابراین، اختلاف دما بین هوای تغذیه و هوای برگشتی کم است. اگر از طرح هوای برگشت اولیه استفاده شود، اختلاف دما بین نقطه حالت هوای تامین و نقطه شبنم واحد تهویه مطبوع زیاد است، گرمایش ثانویه مورد نیاز است و در نتیجه گرمای سرد در فرآیند تصفیه هوا جبران می شود و مصرف انرژی بیشتر می شود. . اگر از طرح هوای برگشت ثانویه استفاده شود، می توان از هوای برگشت ثانویه برای جایگزینی گرمایش ثانویه طرح هوای برگشت اولیه استفاده کرد. اگرچه تنظیم نسبت هوای برگشت اولیه و ثانویه کمی حساس تر از تنظیم گرمای ثانویه است، طرح هوای برگشت ثانویه به طور گسترده به عنوان یک اقدام صرفه جویی در انرژی تهویه مطبوع در کارگاه های پاک میکرو الکترونیکی کوچک و متوسط ​​شناخته شده است. .

به عنوان مثال یک کارگاه تمیز میکروالکترونیک ایزو کلاس 6، مساحت کارگاه تمیز 1000 متر مربع، ارتفاع سقف 3 متر را در نظر بگیرید. پارامترهای طراحی داخلی عبارتند از: درجه حرارت tn= (23±1) ℃، رطوبت نسبی φn=50%±5%؛ حجم تامین هوای طراحی 171000 مترمکعب در ساعت، حدود 57 ساعت-1 زمان تبادل هوا و حجم هوای تازه 25500 مترمکعب در ساعت است (که حجم هوای خروجی فرآیند 21000 مترمکعب در ساعت است و مابقی آن است. حجم هوا نشتی فشار مثبت). بار حرارتی معقول در کارگاه تمیز 258 کیلو وات (258 وات بر متر مربع)، نسبت گرما/رطوبت کولر گازی 35000 کیلوژول بر کیلوگرم است و اختلاف دمای هوای برگشتی اتاق 4.5 درجه سانتیگراد است. در این زمان، حجم هوای بازگشت اولیه از
این در حال حاضر رایج ترین شکل سیستم تهویه مطبوع تصفیه در اتاق تمیز صنعت میکروالکترونیک است، این نوع سیستم را می توان به طور عمده به سه نوع تقسیم کرد: AHU + FFU. MAU+AHU+FFU; MAU+DC (کویل خشک) +FFU. هر کدام دارای مزایا و معایب و مکان های مناسب هستند، اثر صرفه جویی در انرژی عمدتا به عملکرد فیلتر و فن و سایر تجهیزات بستگی دارد.

1) سیستم AHU+FFU.

این نوع حالت سیستم در صنعت میکروالکترونیک به عنوان "راه جداسازی تهویه مطبوع و فاز تصفیه" استفاده می شود. ممکن است دو حالت وجود داشته باشد: یکی این که سیستم تهویه مطبوع فقط با هوای تازه سروکار دارد و هوای تازه تصفیه شده تمام بار گرما و رطوبت اتاق تمیز را تحمل می کند و به عنوان هوای مکمل برای متعادل کردن هوای خروجی و نشت فشار مثبت عمل می کند. از اتاق تمیز، این سیستم همچنین سیستم MAU+FFU نامیده می شود. مورد دیگر این است که حجم هوای تازه به تنهایی برای پاسخگویی به نیازهای بار سرما و گرمای اتاق تمیز کافی نیست، یا به دلیل اینکه هوای تازه از حالت بیرونی تا نقطه شبنم پردازش می شود، تفاوت آنتالپی خاص دستگاه مورد نیاز بسیار زیاد است. و بخشی از هوای داخل خانه (معادل هوای برگشتی) به واحد تصفیه تهویه مطبوع برگردانده می شود، برای تصفیه گرما و رطوبت با هوای تازه مخلوط می شود و سپس به پلنوم تامین هوا ارسال می شود. مخلوط با هوای برگشتی اتاق تمیز باقیمانده (معادل هوای برگشت ثانویه)، وارد واحد FFU می شود و سپس آن را به اتاق تمیز می فرستد. از سال 1992 تا 1994، نویسنده دوم این مقاله با یک شرکت سنگاپوری همکاری کرد و بیش از 10 دانشجوی فارغ التحصیل را رهبری کرد تا در طراحی کارخانه مشترک ایالات متحده و هنگ کنگ SAE Electronics Factory شرکت کنند، که نوع دوم تهویه مطبوع و تصفیه را اتخاذ کرد. سیستم تهویه این پروژه دارای یک اتاق تمیز کلاس 5 ISO به مساحت تقریبی 6000 متر مربع است (که 1500 متر مربع آن توسط آژانس اتمسفر ژاپن قرارداد شده است). اتاق تهویه مطبوع به موازات سمت اتاق تمیز در امتداد دیوار خارجی و فقط در مجاورت راهرو چیده شده است. لوله های هوای تازه، هوای خروجی و هوای برگشتی کوتاه هستند و به آرامی مرتب شده اند.

2) طرح MAU+AHU+FFU.

این محلول معمولاً در کارخانه های میکروالکترونیک با نیازهای چندگانه دما و رطوبت و تفاوت زیاد در بار گرما و رطوبت یافت می شود و سطح تمیزی نیز بالا است. در تابستان، هوای تازه خنک می شود و تا یک نقطه پارامتر ثابت رطوبت زدایی می شود. معمولاً مناسب است که هوای تازه را تا نقطه تقاطع خط آنتالپی ایزومتریک و خط رطوبت نسبی 95 درصد اتاق تمیز با دما و رطوبت معرف یا اتاق تمیز با بیشترین حجم هوای تازه درمان کنیم. حجم هوای MAU با توجه به نیاز هر اتاق تمیز برای دوباره پر کردن هوا تعیین می شود و با توجه به حجم هوای تازه مورد نیاز به AHU هر اتاق تمیز با لوله ها توزیع می شود و برای گرما با مقداری هوای برگشتی داخل خانه مخلوط می شود. و درمان رطوبت این واحد تمام بار گرما و رطوبت و بخشی از بار روماتیسمی جدید اتاق تمیزی را که سرویس می دهد تحمل می کند. هوای تصفیه شده توسط هر AHU به پلنوم هوای تامین در هر اتاق تمیز ارسال می شود و پس از اختلاط ثانویه با هوای برگشتی داخل خانه، توسط واحد FFU به داخل اتاق فرستاده می شود.

مزیت اصلی محلول MAU+AHU+FFU این است که علاوه بر اطمینان از تمیزی و فشار مثبت، دماهای مختلف و رطوبت نسبی مورد نیاز برای تولید هر فرآیند اتاق تمیز را نیز تضمین می کند. با این حال، اغلب به دلیل تعداد AHU راه اندازی، اشغال منطقه اتاق بزرگ است، اتاق تمیز هوای تازه، هوای برگشتی، خطوط لوله تامین هوا متقاطع، فضای بزرگی را اشغال می کند، چیدمان مشکل تر است، نگهداری و مدیریت دشوارتر است. و پیچیده است، بنابراین، هیچ الزامات خاصی تا آنجا که ممکن است برای جلوگیری از استفاده.