مقدار هدف رطوبت نسبی در یک اتاق تمیز نیمه‌هادی (FAB) تقریباً 30 تا 50 درصد است که حاشیه خطای باریکی در حدود ±1 درصد را مانند منطقه لیتوگرافی - یا حتی کمتر در منطقه پردازش فرابنفش دور (DUV) - فراهم می‌کند، در حالی که در جاهای دیگر می‌تواند تا ±5 درصد کاهش یابد.
زیرا رطوبت نسبی طیف وسیعی از عوامل را در بر می‌گیرد که می‌تواند عملکرد کلی اتاق‌های تمیز را کاهش دهد، از جمله:
۱. رشد باکتری‌ها؛
۲. محدوده دمای اتاق برای کارکنان؛
۳. بار الکترواستاتیک ظاهر می‌شود؛
۴. خوردگی فلز؛
۵. تراکم بخار آب؛
۶. تخریب لیتوگرافی؛
۷. جذب آب.
باکتری‌ها و سایر آلاینده‌های بیولوژیکی (کپک‌ها، ویروس‌ها، قارچ‌ها، کنه‌ها) می‌توانند در محیط‌هایی با رطوبت نسبی بیش از ۶۰٪ رشد کنند. برخی از جوامع باکتریایی می‌توانند در رطوبت نسبی بیش از ۳۰٪ رشد کنند. این شرکت معتقد است که رطوبت باید در محدوده ۴۰٪ تا ۶۰٪ کنترل شود که می‌تواند تأثیر باکتری‌ها و عفونت‌های تنفسی را به حداقل برساند.
رطوبت نسبی در محدوده ۴۰٪ تا ۶۰٪ نیز محدوده متوسطی برای آسایش انسان است. رطوبت بیش از حد می‌تواند باعث گرفتگی بینی شود، در حالی که رطوبت کمتر از ۳۰٪ می‌تواند باعث خشکی، ترک خوردگی پوست، ناراحتی تنفسی و ناراحتی عاطفی شود.
رطوبت بالا در واقع تجمع بارهای الکترواستاتیک روی سطح اتاق تمیز را کاهش می‌دهد - یک نتیجه مطلوب. رطوبت پایین برای تجمع بار ایده‌آل است و منبع بالقوه مخربی برای تخلیه الکترواستاتیک محسوب می‌شود. هنگامی که رطوبت نسبی از ۵۰٪ تجاوز کند، بارهای الکترواستاتیک به سرعت شروع به از بین رفتن می‌کنند، اما هنگامی که رطوبت نسبی کمتر از ۳۰٪ باشد، می‌توانند برای مدت طولانی روی یک عایق یا یک سطح بدون اتصال به زمین باقی بمانند.
رطوبت نسبی بین ۳۵ تا ۴۰ درصد می‌تواند به عنوان یک حد تعادل رضایت‌بخش در نظر گرفته شود و اتاق‌های تمیز نیمه‌هادی معمولاً از کنترل‌های اضافی برای محدود کردن تجمع بارهای الکترواستاتیک استفاده می‌کنند.
سرعت بسیاری از واکنش‌های شیمیایی، از جمله فرآیندهای خوردگی، با افزایش رطوبت نسبی افزایش می‌یابد. تمام سطوح در معرض هوای اطراف اتاق تمیز، سریع هستند.
زمان ارسال: ۱۵ مارس ۲۰۲۴
خانه
محصولات
تماس با ما
اخبار